お知らせ

EDITにて発表

2023年2月3日~4日に三島にて開催された第28回電子デバイス界面テクノロジー研究会(EDIT)にて、M2の渡邉君が発表しました。       

 

  • 渡邉晶、浅見真崇、桐原芳治、保井晃、野平博司、澤野憲太郎、中川清和

”水素ラジカル法を用いた高品質Al2O3ゲート/Ge基板構造の形成”

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