実験設備 実験室&実験装置 SiGe分子線エピタキシー① SiGe分子線エピタキシー② クリーンルーム① クリーンルーム② 準クリーンルーム① 準クリーンルーム② クリーンルーム(フォトリソグラフィー室)① クリーンルーム(フォトリソグラフィー室)② スパッタ蒸着装置 エッチング装置 マスクレス・アライナー 露光機（マスクアライナー） ワイヤボンダー X線回折装置 CMP装置 機械研磨機 近赤外顕微PL装置 ホール測定装置① ホール測定装置②
